真空泵的主要性能和使用

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真空泵的主要性能和使用

发布时间:2019-7-4

1.真空泵的主要性能

a.抽气速率(体积流率):指泵对空气的体积抽速,单位 l/s。

b.极限压强(极限真空):指泵在入口封死的情况下,泵工作时的稳定的最低压强, 单位 Pa或 Torr。实际应用时此项指标有分压强与全压强之分。所谓分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。

c.起动压强:泵正常起动时的最高压强。

d.压缩比:泵对给定气体的出口压强与入口压强的比值。每种真空泵对不同气体的压缩比均不相同,在真空应用中,如果不指明对何种气体的压缩比,均为对空气的压缩比。

e.零流量压缩比:在入口封死即零流量的情况下,泵工作时对给定气体的出口压强与入口压强的比值。

f.长期工作最高入口压力:指泵在符合正常工作的条件时,在长期运转中(一个月以上)能够正常工作而不发生损坏的入口压力。


2.真空泵的用途

a.主泵:在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。一般整个系统的最后一级泵即是主泵。

b.粗抽泵:抽除系统的气体以使另一系统开始工作的真空泵

c.前级泵:用以维持后一级泵的出口压强在允许压强以下的真空泵。前级泵也可以作为粗抽泵使用。

d.维持泵:在真空系统中,当抽气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此,在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需的低压。典型的维持泵应用于高真空系统, 例如油扩散泵系统中,当系统的极限压力已达到后,系统的气体流量已非常小,此时再用前级泵抽气已非常不经济。为解决这个问题,在系统中另用一只小泵来抽除油扩散泵排除的气体。

e.增压泵:装于高真空泵和低真空泵之间,用来提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵。罗茨泵即是一种典型的增压泵,传统的油封机械泵工作压强最低只有 10Pa,而高真空油扩散泵的工作压强最低要求小于 1  Pa,因此油封泵同油扩散泵配合工作时在 10Pa~1Pa范围内抽速较低,而罗茨泵恰好在此范围内有最佳的抽速。在油封泵同油扩散泵间加入罗茨泵可以改善系统的性能,缩短抽气时间,各泵的抽速曲线如下图所示。


3.真空泵的使用范围

各种型式的真空泵其使用范围如表 2 所示。需要指出的是,真空技术在不断发展进步,各种真空泵的性能会发生很大的变化。


4.真空泵的型号及规格表示法

国产的各种真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示(如表 3 所示)。如果在字母前冠以“2”字,则表示双级泵。

真空泵的抽速单位一般用“升/秒”来表示,特殊的用“立方米/分”来表示(水、液环泵)。但是有些泵用入口口径的尺寸表示(例如扩散泵),因此选用时要详细阅读产品样本和说明书。


型号

名称

型号

名称

型号

名称

W

往复泵

XD

旋转多片泵

L

离子泵

SZSK

水环泵

F

分子泵

P

喷射泵

X

旋片泵

ZJ

罗茨泵

D

定片泵

Z

油增压泵

H

滑阀泵

K

扩散泵



注意:对于第一次使用的泵,或长期不用的泵,应先仔细检查泵的情况,用手按泵运转方向转动泵电机或皮带轮,来判断泵转动是否灵活,有无机械故障,同时可以将漏入泵腔内的油排至油箱,便于泵起动,以及可以检查油位,决定是否需要加油。必要时可请专业人员来对泵进行检修。